无尘室内系统除了通称的空调系统之外，制程设备也包括在内，本节将对该二系统之运转维护及保养做**概略说明。
　　无尘室内之生产制造设备注意之重点有三：
　　1.生产设备之选择、布置与保养：
　　a.要选用发尘性较少的生产设备及相关设备，尤其须注意活动部分之发尘。
　　b.应选择尘埃之影响较小的生产设备或接口设备。
　　c.生产用之水、气体、药品等往往是造成污染的原因，故应配备过滤装置。
　　d.规划各设备之配置空间时，事先宜考虑不易积累微尘之结构，规划各并以容易清洁为原则。
　　e.真空泵等容易产生污染物的这类设备，应设置在无尘室外面或回风区，并加装排气管线排气。
　　f.设置给水管线、气体管线和电气系统时，其构造须考虑到容易清洁，不易积累污染物。
　　g.生产及相关设备应定期清扫，以避免微尘之堆积。
　　h.应加强注意室内的温湿度控制，避免因湿度之不当造成结露生锈。
　　i.当设备维修时易产生微尘粒子，故维修时尽量于清洁室外进行，并加隔离栅隔离。
　　j.对于施工或维修之厂商，应告知进出无尘室之各项规定，且负责工程师应随侍在侧监工。
　　k.应有无尘室专用工具组，但不得带出无尘室外使用。
　　l.规划空间时若能临近无尘室设立**间维修和设备保养手册置放室，将是**理想之规划。
　　2.生产设备之防尘措施：
　　a.磨损、切削均为发生微尘之原因，故需将发尘部分掩盖之。
　　b.易产生尘埃之设备，若能的话应布置于风尾地点。
　　c.在操作时，尽量减少接触零件或产品。
　　d.不得有太大或不必要的操作动作，以免卷起附近之灰尘。
　　e.各项厂务设施之供应如水、气体和化学品于进入生产设备前应有过滤设备。
　　f.为不使气体或液体滞留，造成微污染，故管路配置应有旁路阀之设置。
　　3.自动化与无尘化：
　　a.设立自动化传送系统，可减少人员方面所带来的污染，唯费用相当昂贵，须详加评估。
　　b.建立管制项目如进入无尘室人员的资格限定，无尘室作业人员作业规则，无尘室管理规则等，这些规则已在前面章节叙述，此处不再说明。
　　在无尘室之维护管理方面，可分三部分加以说明：
　　1.建筑物之维护管理：
　　a.建筑物内定期检查清洁。
　　b.地板之清扫管理及损坏更新。
　　c.隔间墙及天花板检查清洁和封补。
　　d.窗户及门之保养等。
　　2.环境测定与管理：
　　无尘室内之运转环境状况如温、湿度及微尘粒子数应每日定期量测，以确实掌握质量，若有数据异常，可立即做紧急处理。
　　3.防尘空调设备之维护管理：
　　a.温、湿度及尘埃浓度管理，在前面以述及，唯其量测仪器应做定期校正检验，若有设备移动或施工时须做局部测量。
　　b.过滤网之管理：定期检查及更换，表6为各种过滤网之检查及更换周期。
　　c.空气调节器管理：定期检查隔板接缝及内部污染状况，冷热盘管是否有腐蚀现象。
　　d.送风机之管理：定期检查送风机运转状况。如表7所示为送风机之各项检查内容及周期。
　　e.风管及出风口之管理：检查风管是否有腐蚀、污染、尘埃堆积或保温脱落等。
　　f.测试及量测仪器管理：定期校正及保养。
　　g.室内压力管理：连续监视室内压力记录，以维持正压为基准。
　　h.冷冻主机、泵浦、锅炉及冷却水塔之管理：定期检查保养及记录运转状况及水质变化分析，以调整加药量等。
　　i.无尘室停止运转再开机要点管理：启动后立即进行微尘粒子之测试，须无尘室恢复稳定正常时再开始作业。